赫爾納供應(yīng)SEMCO退火爐SEMCO 集團(tuán)是應(yīng)用于光伏太陽能電池量產(chǎn)的減壓加工的先驅(qū),并擁有與該技術(shù)相關(guān)的技能。該公司幾年前就開始提供當(dāng)前的標(biāo)準(zhǔn),當(dāng)時(shí)高效光伏和大規(guī)模生產(chǎn)仍是抽象概念。通過應(yīng)用公司在半導(dǎo)體行業(yè)制定和驗(yàn)證的專有原則,SEMCO 集團(tuán)為當(dāng)今光伏市場中電池制造商的需求鋪平了道路。因此,SEMCO 集團(tuán)不斷創(chuàng)新以滿足客戶需求,專注于改進(jìn)磷和硼發(fā)射極擴(kuò)散、熱 SiOx 和 AlOx 生長以及 SiNx 沉積。我們的業(yè)務(wù)部門 SEMCO Group PVE 提供具有成本效益的解決方案,可提高太陽能電池性能、優(yōu)化生產(chǎn)線吞吐量并降低運(yùn)營費(fèi)用。
赫爾納供應(yīng)SEMCO退火爐廠家優(yōu)勢:
減壓擴(kuò)散間歇式管式爐,使用 POCl3 或 BCl3
應(yīng)用還包括退火、氮化物、氧氮化物、多晶硅和 TEOS。
減壓氧化間歇式管式爐,濕(去離子水)或干(H2)配置
用于 SiNx 和 AlOx 沉積、鈍化和 PDA 的直接 PECVD 批量式管式爐
用于單面 c-Si 織構(gòu)和拋光的等離子蝕刻間歇式管式爐
從晶圓到組件的垂直集成光伏生產(chǎn)線
對客戶員工進(jìn)行生產(chǎn)系統(tǒng)操作的培訓(xùn)
生產(chǎn)系統(tǒng) 24/7 運(yùn)行所需的消耗品和備件
工藝和生產(chǎn)階段的優(yōu)化
維護(hù)服務(wù),包括升級和翻新設(shè)備。
產(chǎn)品簡介:
JETLIGHT 是 Jipelec 入門級軟件控制臺式快速熱退火 (RTA) 系統(tǒng)。JETLIGHT 是一種緊湊而堅(jiān)固的高速熱處理系統(tǒng),適用于各種材料基板和結(jié)構(gòu)(鋼、玻璃、c-Si 太陽能、III-V、II-VI、鍺、超導(dǎo)體)的快速熱退火 (RTA)和陶瓷),最大尺寸為 2 英寸直徑。(50 毫米)。JETLIGHT 的規(guī)格和功能滿足希望在多用戶環(huán)境中啟動 RTP 的大學(xué)和研究中心的要求。該爐配備了管狀石英反應(yīng)室,因此可以處理最大長度為 150 毫米的三維樣品。該過程在大氣壓或真空下(使用或不使用氣體)進(jìn)行。PID 系統(tǒng)可在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供準(zhǔn)確且可重復(fù)的熱控制。?
SEMCO退火爐特征:
熱壁室設(shè)計(jì)。
基板尺寸可達(dá) 50 毫米直徑。和 150 毫米長。
微處理器控制的晶閘管技術(shù)
最多兩 (2) 條氣體引入線
大氣和真空處理能力。
專用的過程控制軟件。
SEMCO退火爐應(yīng)用:
植入物和觸點(diǎn)的快速熱退火 (RTA)
快速熱氧化 (RTO) 和氮化 (RTN)
快速熱擴(kuò)散 (RTD) - 例如旋涂摻雜劑
結(jié)晶、致密化和結(jié)構(gòu)應(yīng)力松弛
赫爾友道,融中納德-----我們杜絕假貨,我們價(jià)格低廉,我們保證品質(zhì)!
誠信公告:Heilna不是該產(chǎn)品的代理商,只是一個(gè)貿(mào)易商。我們親自把德國的產(chǎn)品以優(yōu)廉價(jià)格出口到中國,并提供相關(guān)技術(shù)和服務(wù)!此公告旨在維護(hù)中國工業(yè)品市場的良好交易環(huán)境